·4D动态干涉仪，是基于偏振光干涉原理的。

将光源发出的光分成偏振态不同的两束光S和P；并使S偏振光携带样品表面信息，P偏振光携带参考表面信息；这样两束光合在一起后，经过光学系统成像，在透过一块掩模板（定向微偏振片阵列）后，发生干涉；进入CCD得到全分辨表面干涉图。（参照4D原理）

·FizCam 2000 动态菲索型干涉仪原理：

FizCam2000干涉仪是共光路的菲索型，采用了短相干光光源，其原理图如下：

工作原理:短相干光源发出短相干光经PBS(偏振分束镜) 后分成偏振态不同的两束光S（图中红色光）和P（图中蓝色光）, 并使S_T (携样品表面信息的S偏振光)和P_R (携参考表面信息的P偏振光)相遇，并能通过掩模板后发生干涉，从而得到全分辨表面干涉图。

    要满足有且只有S_T和P_R相遇并能通过掩模板发生干涉，则需消除S_R (含参考镜表面信息的S偏振光)和P_T (含样品表面信息的P偏振光)的影响。FizCam2000动态干涉仪通过采用短相干光源和可调节延迟光路（左侧可平移反射镜）使P偏振光滞后S偏振光一段距离（见下图），从而在时间顺序上被参考镜和样品表面依次反射，先后产生四束反射光：S_R、S_T和P_R

测量方法:在干涉仪工作时，通过马达移动最左侧反射镜，使P偏振光滞后于S偏振光(样品与参考镜之间间距)的距离，则通过共光路后，S_T (含样品前表面S₁的表面信息)与P_R在透过掩模板时发生偏振光干涉从而得到干涉图。通过调整，可以很方便地确定参与干涉的样品表面。

在4Sight软件上，有专门针对F2000工作的软件界面，可以很方便地确定干涉位置。这对于有多个表面的干涉计量，非常有效；尤其是当有平行表面存在的情况下，通过这种干涉方式，可以消除平行表面间的相互干扰。

·FizCam 2000 动态干涉仪应用：

FizCam2000动态干涉仪可测量样品前表面（通过观察左移前的表面干涉图）、后表面（通过观察左移后的表面干涉图）和样品厚度（通过测量前后两次表面干涉图出现时反射镜左移的距离）。

下图为FizCam 2000 动态干涉仪对光学厚度的测量图例：

这个很有意思~可惜资料不是很全～　有的图片还看不到～